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集成電路檢測(cè)是確保芯片從設(shè)計(jì)到制造,再到最終應(yīng)用全過(guò)程中質(zhì)量、性能和可靠性的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。由于其應(yīng)用場(chǎng)景的特殊性(如軍工、航天、高鐵、醫(yī)療等),其檢測(cè)要求遠(yuǎn)高于商業(yè)級(jí)或工業(yè)級(jí)芯片。
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集成電路(IC)的制造過(guò)程極其復(fù)雜,涉及上百甚至上千道工序。任何一步的微小偏差都可能導(dǎo)致芯片失效。檢測(cè)的目的在于:
確保功能正確:芯片是否按照設(shè)計(jì)規(guī)范工作。
保證性能參數(shù):如速度、功耗、信噪比等是否達(dá)標(biāo)。
控制良率(Yield):及早發(fā)現(xiàn)制造缺陷,分析原因并改進(jìn)工藝,提高生產(chǎn)效率和經(jīng)濟(jì)效益。
提高可靠性:發(fā)現(xiàn)潛在缺陷,避免早期失效,保證產(chǎn)品在預(yù)期壽命內(nèi)穩(wěn)定工作。
保護(hù)投資:在封裝前剔除廢品,避免昂貴的封裝成本浪費(fèi)在壞芯片上。
1. 設(shè)計(jì)驗(yàn)證與仿真測(cè)試
功能驗(yàn)證:使用高級(jí)硬件描述語(yǔ)言(如Verilog, VHDL)和驗(yàn)證方法學(xué)(如UVM)搭建測(cè)試平臺(tái)(Testbench),注入大量測(cè)試向量,驗(yàn)證電路邏輯功能是否符合設(shè)計(jì)規(guī)范。
時(shí)序驗(yàn)證:通過(guò)靜態(tài)時(shí)序分析(STA)工具,在考慮工藝偏差、電壓波動(dòng)和溫度變化(PVT)等條件下,驗(yàn)證電路在所有角落(Corner)情況下是否都能滿足時(shí)序要求,避免建立時(shí)間和保持時(shí)間違例。
可測(cè)性設(shè)計(jì)(DFT):
掃描鏈測(cè)試(Scan Chain):將芯片內(nèi)部的寄存器連接成鏈,通過(guò)掃描輸入和輸出測(cè)試向量,檢測(cè)制造過(guò)程中產(chǎn)生的固定型故障(Stuck-at fault)。
內(nèi)建自測(cè)試(BIST):特別是在存儲(chǔ)器(MBIST)和邏輯電路(LBIST)中,集成額外的自測(cè)試電路,在上電或運(yùn)行時(shí)進(jìn)行自我檢測(cè)。
邊界掃描測(cè)試(JTAG):主要用于檢測(cè)PCB板上芯片之間的互聯(lián)故障。
2. 晶圓級(jí)測(cè)試
參數(shù)測(cè)試:測(cè)試晶體管、電阻、電容等基本元件的電學(xué)參數(shù)(如閾值電壓、漏電流、導(dǎo)通電阻等)是否在規(guī)格范圍內(nèi)。
功能測(cè)試:使用精密探針臺(tái)(Prober)和測(cè)試機(jī)(Tester)對(duì)晶圓上的每一個(gè)芯片裸片(Die)進(jìn)行基本的功能測(cè)試,篩選出功能失效的芯片。
3. 成品測(cè)試
全面功能測(cè)試:在更接近實(shí)際應(yīng)用的條件下,運(yùn)行所有設(shè)計(jì)的功能模式,確保芯片100%符合數(shù)據(jù)手冊(cè)(Datasheet)上的所有規(guī)范。
參數(shù)測(cè)試:精確測(cè)試直流(DC)和交流(AC)參數(shù),如輸入輸出電平、功耗、延遲時(shí)間、驅(qū)動(dòng)能力等。
可靠性測(cè)試:模擬芯片在整個(gè)生命周期中可能遇到的嚴(yán)苛環(huán)境,評(píng)估其可靠性和壽命。
HTOL:高溫工作壽命測(cè)試。在高溫下加電滿載運(yùn)行,加速其老化過(guò)程,預(yù)測(cè)故障率(FIT)。
ELFR:早期失效率測(cè)試??焖俸Y選出存在潛在缺陷的“嬰兒期”失效產(chǎn)品。
HAST:高加速溫濕度應(yīng)力測(cè)試。用高溫高濕高壓環(huán)境檢驗(yàn)封裝密封性和抗?jié)駳饽芰Α?/span>
TC:溫度循環(huán)測(cè)試。讓芯片在極端高低溫之間循環(huán)變化,檢驗(yàn)因材料熱膨脹系數(shù)不匹配導(dǎo)致的失效(如焊點(diǎn)開裂)。
ESD:靜電放電測(cè)試。測(cè)試芯片抗靜電能力,確保符合人體模型(HBM)、機(jī)器模型(MM)、器件充電模型(CDM)等標(biāo)準(zhǔn)。
Latch-up:閂鎖效應(yīng)測(cè)試。檢驗(yàn)芯片抗閂鎖能力。
4. 破壞性物理分析(DPA)與失效分析(FA)
DPA:從一批次產(chǎn)品中抽樣,進(jìn)行解封裝、內(nèi)部目檢、材料成分分析等,旨在發(fā)現(xiàn)工藝、材料、設(shè)計(jì)或制造中的系統(tǒng)性缺陷,防止整批產(chǎn)品存在共同隱患。
FA:針對(duì)測(cè)試或使用中出現(xiàn)的個(gè)別失效芯片,利用X光、聲學(xué)掃描顯微鏡(SAM)、掃描電子顯微鏡(SEM)、聚焦離子束(FIB)等先進(jìn)設(shè)備,定位并分析失效的具體物理原因,為改進(jìn)設(shè)計(jì)和工藝提供反饋。
主要檢測(cè)領(lǐng)域 | 主要檢測(cè)項(xiàng)目 |
航空航天與深空探測(cè) | 輻射加固保證(RHA)、極端溫度測(cè)試、高可靠性壽命試驗(yàn)、機(jī)械振動(dòng)與沖擊測(cè)試。 |
國(guó)防與軍事裝備 | 機(jī)械應(yīng)力測(cè)試、環(huán)境適應(yīng)性測(cè)試、安全性測(cè)試、嚴(yán)格的DPA和FA要求 |
汽車電子 | AEC-Q100標(biāo)準(zhǔn)、功能安全(ISO 26262)、長(zhǎng)期壽命測(cè)試、HTOL、溫度循環(huán)、故障覆蓋率分析(DFT) |
醫(yī)療器械與植入式設(shè)備 | 生物相容性、低功耗測(cè)試、超高可靠性測(cè)試、模擬性能精度測(cè)試、長(zhǎng)期老化試驗(yàn) |
工業(yè)控制與能源(如核電、電網(wǎng)) | EMC/EMI測(cè)試、長(zhǎng)期穩(wěn)定性測(cè)試、安全認(rèn)證、抗干擾能力、HTOL、寬溫測(cè)試。 |
高端通信與數(shù)據(jù)中心 | 高速接口測(cè)試(如SerDes眼圖測(cè)試)、電源完整性、散熱性能、長(zhǎng)時(shí)間Burn-in測(cè)試。 |
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